分類

按三坐標測量儀結構可分為如下幾類：

1.移動橋架型(Movingbridgetype)移動橋架型，為較常用的三坐標測量儀的結構，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿水平梁在方向移動，此水平梁垂直軸且被兩支柱支撐于兩端，梁與支柱形成“橋架”，橋架沿著兩個在水平面上垂直和軸的導槽在軸方向移動。因為梁的兩端被支柱支撐，所以可得到較小的撓度，且比懸臂型有較高的精度。

2.床式橋架型(Bridgebedtype)床式橋架型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的梁而移動，而梁沿著兩水平導軌在軸方向移動，導軌位于支柱的上表面，而支柱固定在機械本體上。此型與移動橋架型一樣，梁的兩端被支撐，因此梁的撓度為較少。此型比懸臂型的精度好，因為只有梁在軸方向移動，所以慣性比全部橋架移動時為小，手動操作時比移動橋架型較容易。IT行業需求的市場細分與目標市場選擇。電子解決方案產業

3、液平面法：液平面法是用液平面作為測量基準面，液平面由“連通罐”內的液面構成，然后用傳感器進行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法：光束平面法是采用準值望遠鏡和瞄準靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距較遠的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準面。

5、激光平面度測量儀：激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差。

6、利用數據采集儀連接百分表測量平面度誤差的方法。測量儀器：偏擺儀、百分表、數據采集儀。測量原理：數據采集儀可從百分表中實時讀取數據，并進行平面度誤差的計算與分析，平面度誤差計算工式已嵌入我們的數據采集儀軟件中，完全不需要人工去計算繁瑣的數據，可以dada提高測量的準確率。

質量解決方案變速市場營銷不是一成不變的，“產品”如何在市場拓展中成為決定性力量。

9.水平臂測量臺移動型(Movingtablehorizontalarmtype)水平臂測量臺移動型，廂形架支撐水平臂沿著垂直的支柱在垂直(軸)的方向移動。探頭裝在水平方向的懸臂上，支柱沿著水平面的導槽在軸方向移動，且垂直軸，測量臺沿著水平面的導槽在軸方向移動，且垂直于軸和軸。這是水平懸臂型的改良設計，為了消除水平臂在軸方向，因伸出或縮回所產生的撓度。10.水平臂測量臺固定型(Fixedtablehorizontalarmtype)水平臂測量臺固定型，其構造與測量臺移動型相似。此型測量臺固定，、軸均在導槽內移動，測量時支柱在軸的導槽移動，而軸滑動臺面在垂直軸方向移動。

5.邊界掃描(Perimeter Scan)

邊界掃描方式只適用于有CAD曲面模型的工件。該掃描方式采用CAD數學模型計算掃描路徑，該路徑與邊界或外輪廓偏置一定距離(由用戶選定)。創建邊界掃描時，首先選定“邊界掃描”選項；若為內邊界掃描，則在對話框中選擇“內邊界掃描”；選擇工作曲面時，啟動“選擇”復選框，每選一個曲面則加亮一個，選定所有期望曲面后，退出復選框；點擊表面確定掃描起始點；在同一表面上點擊確定掃描方向點；點擊表面確定掃描終止點，若不給出終止點，則起始點即為終止點；在“掃描構造”編輯框內輸入相應值(包括“增值”、“CAD公差”等)；選擇“計算邊界”選項，計算掃描邊界；確認偏差值正確后，按“產生測點”按鈕，PC DMIS程序將自動計算執行掃描的理論值；點擊“創建”。解決方案直接為執行層面服務，它們不是簡單的線性關系和單一接口。

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晶圓測厚儀運用解決方案。電子解決方案產業

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